本發(fā)明提供的是一種MEMS高溫壓力傳感器自動(dòng)鍵合方法。它選擇由臺面、設(shè)置在臺面上的物流臺、操作手、加熱爐和顯微鏡組成的自動(dòng)鍵合機(jī)進(jìn)行自動(dòng)鍵合;自動(dòng)鍵合機(jī)的操作手安裝在由4個(gè)軸控制的4自由度操作手工作臺上,加熱爐安裝在由2個(gè)軸控制的2自由度定位工作臺上,顯微鏡安裝在包括可上下運(yùn)動(dòng)的軸的顯微鏡自動(dòng)調(diào)焦工作臺上。本發(fā)明基于顯微視覺的高精度、非接觸式測量,實(shí)現(xiàn)了不論是正面還是反面MEMS高溫壓力傳感器的高精度對準(zhǔn)作業(yè);融合視覺/微力覺信息,實(shí)現(xiàn)
芯片和玻璃基的高精度、無損抓取和搬運(yùn);設(shè)備的高自動(dòng)化程度使得其具有批量制造能力,提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“MEMS高溫壓力傳感器自動(dòng)鍵合方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)